誘導電荷を利用した圧電素子の変位制御に対する研究助成

文部省科学研究費補助金

1. 古谷克司、毛利尚武：誘導電荷フィードバック型圧電アクチュエータの開発、平成9〜10年度基盤研究(C)(2) (1997)

財団等

1. 古谷克司、毛利尚武：誘導電荷による圧電アクチュエータの状態認識、平成8年度メカトロニクス技術高度化財団研究助成 (1997)

2. 古谷克司、毛利尚武：誘導電荷による圧電アクチュエータの状態認識、平成8年度マイクロマシンセンター研究助成 (1997)

3. 古谷克司：ナノメータ切削装置のための位置決め機構の開発−誘導電荷による圧電素子の変位制御、平成9年度第24回日産科学振興財団日産学術研究助成 (1998)

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Last modified on 11/06/1998 at 16:49:07 by Katsushi Furutani