１．はじめに
４．特性 ４．１ 粗動特性 ４．２ 粗動位置決め
This report deals with a small mover, "Seal Mechanism," with three degrees of freedom for a scanning probe microscope. An L-shaped structure of Seal mechanism is proposed to reduce the interference among the axes. This device consists of two controlled Electromagnets A and B connected by two piezoelectric actuators with Electromagnet C that generates a constant friction. The friction at Electromagnets A and B are changed by on-off control. The whole device wriggles with Electromagnets C when the piezoelectric actuators extend and contract. Positioning accuracies in the x, y and q directions are twice as small as the resolutions in each direction.
キーワード：圧電素子、位置決め、リニアドライブ、原子間力顕微鏡、移動機構、摩擦
(Keyword: piezoelectric element, positioning, linear drive mechanism, atomic force microscope, mobile device and friction)
走査型プローブ顕微鏡（SPM）などのステージには、高い分解能と広範囲に移動可能な多自由度の機構が必要とされている。広範囲を測定するためには、粗動機能と微動機能とが必要になる。一般にそれらの機能は個別の機構で実現される。これまでに提案されている面内移動機構には、インチワーム機構、インパクト駆動機構などがある。これらでは自由度の増加に伴い制御素子の増加、装置の大型化、複雑化などの問題が生じる。
著者らはこれまでにアザラシ型3自由度機構を開発している。本機構は、平面内の3自由度（xyθ）を持ち、制御されるアクチュエータが少ないにもかかわらず、インチワーム機構による移動機構とほぼ同様の特性を持つ。
４．実験 ４．１ 粗動特性 ４．２ 粗動位置決め
Last modified on 08/06/2003 at 14:54:43 by Katsushi Furutani