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概要

豊田工業大学 2018

高出力超短パルスレーザー光源を使ってミクロンオーダーの導波構造を作るための装置光を制御することができる微細構造を持った光ファイバX 線照射により試料から放出される電子のエネルギーから、化学組成や結合状態を調べる装置電子線を用いて、物質の化学組成や結晶方位などを解析するための装置結晶格子によるX 線の回折像を解析して、結晶構造、化学組成、歪などを調べる装置電磁波の吸収・放出過程を通して、分子の構造や運動の速さを解析するための装置モノづくりへの情熱をカタチに。充実の設備が、研究の深化を可能にする。たとえば、新しい材料を開発したとき、それが現実のニーズに対応できるか。狙い通りの性能を持っているか。頭だけで考えるのではなく、実際にやってみることで理解はさらに広く、深くなります。本学では、国内大学トップクラスの充実度を誇る実験施設・設備を備え、モノづくりへのあくなき探究心に応えています。実験・実習研究設備共同利用クリーンルーム本学では、モノづくりの根幹に関わっている工学において、理論の実証が大変重要であると考えています。そのため、工学の教育研究に不可欠なインフラストラクチャー要素である実験・実習設備の整備、拡充に努めています。実験・実習・研究用設備■超微細レーザー加工装置■光波制御光ファイバ素子■X 線光電子分光装置■走査型電子顕微鏡&エネルギー分散型X 線元素分析装置■薄膜材料結晶性解析X 線回折装置■超伝導高分解能核磁気共鳴装置1. レジスト塗布装置2. 電子線描画装置3. マスクレス描画装置4. マスクアライナ5. 縦型拡散炉6. 横型拡散炉7. イオン注入装置8. ウェハDC測定装置半導体に関する講義とプロセス体験を通して、半導体技術全般の知識を修得するための講習会を年1回開催しています。◎開催日程:2017年9月14、15日(予備日:9月16日) ◎参加対象者:企業関係者、学校関係者で、半導体に興味がある方9. 四探針比抵抗計10. エリプソメータ11. 光干渉膜厚計12. 表面粗さ計(段差測定)13. 高速熱処理装置14. ライフタイム測定装置15. 電子ビーム蒸着装置16. 抵抗加熱蒸着装置17. 深堀イオンエッチング装置18. UVドライクリーナ19. 反応性イオンエッチング装置20. スパッタ装置21. 洗浄・エッチングドラフト22. 洗浄・エッチングドラフト(化合物系)23. カーボンナノチューブ成膜装置24. 熱化学気相成膜装置25. プラズマ化学気相成膜装置26. 常圧化学気相成膜装置27. 塩素系エッチング装置28. 原子層堆積装置29. 化学ビームエピタキシー装置30. 熱化学気相成膜装置31. 複合化学気相成膜装置32. 水素精製装置クリーンルーム内 設備配置図半導体プロセス実習・講習会(有料)◎レーザードップラー流速計◎ゲッチンゲン開放型風洞◎2 次元レーザー・ドップラー流速計◎電気油圧式材料試験装置◎ビジョン付移動ロボットシステム◎変位振動測定装置◎超高真空摩擦試験装置◎走査電子顕微鏡◎シリコン深掘エッチング装置◎非接触3次元表面形状・粗さ測定装置◎分子線エピタキシー(結晶成長)装置◎ナノ構造素子評価用伝導特性計測装置◎各種ロボット(跳躍ロボット、パラレルリンクロボット)◎Beowulf クラスタ計算機◎実験用自律走行車◎自律走行シミュレータ◎ケミカル・ビーム・エピタキシー装置◎先端フォト二クス材料製造装置◎電子スピン共鳴装置◎走査トンネル顕微鏡◎カーボンナノチューブ成膜装置◎高周波マグネトロンスパッタ装置◎高分解能Ⅹ線小角散乱装置◎レオメータ(ダイナミックアナライザー)◎可搬式汎用知能アーム◎モードロックNd:YAGレーザー◎微小電流-電圧特性測定システム◎全自動プリント基板加工機◎超高真空一貫量子構造作製装置◎プラズマ溶射装置◎広角小角散乱同時測定用X線回折装置◎高速走査型フーリエ変換赤外分光光度計[主要設備一覧]緊急シャワーエアーシャワー(クラス100)(クラス10,000)(クラス10,000) (クラス10,000 )2526272830293132242322 2221 2121289 9 10 11 1266135 5 5673 244421112121 1919 182017 15152016 162114搬入室見学・点検通路メンテナンスルーム事務室更衣室倉庫国内の大学において最大級の規模を誇る「クリーンルーム」。ここは、半導体プロセスおよびその微細加工技術を応用した、広範囲な実践的教育と研究のための施設です。清浄度クラス100(1立方フィート内に含まれる直径0.5ミクロン以上の塵埃100個以下を保証)およびクラス1,000、10,000から構成される面積約450㎡の本格的な施設で、太陽電池、大面積グラフェン、マイクロマシン、磁性体デバイスや窒化ガリウムパワートランジスタの開発など、最先端の研究が行われています。33 34