豊田工業大学

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研究イベント

第30回 半導体プロセス・実習講習会開催(9/8~9/9)

2016.05.25

開催日時

[1日目]2016年9月8日(木) 9:30-17:30

[2日目]2016年9月9日(金) 9:30-17:30

(予備日:2016年9月10日(土)…上記日程が中止なった場合)

会場

本学 1号棟3階 大講義室
共同利用クリーンルーム他

交通アクセス

※本学南門は、校舎建て替え工事のため、現在閉鎖中です。本学へお越しの際には、正門からお入りくださいますようお願い申し上げます。

概要

豊田工業大学では、1985年のクリーンルームを設立後、半導体微細加工のための一連の設備を整え、教育と研究に活用しています。設備としては、リソグラフィ装置 (電子線描画、マスクレス露光を含む)、エッチング装置、酸化・拡散炉、イオン注入装置、CVD・PVD装置、組立・評価装置などがあります。また2015年には新クリーンルームが完成し、運用を開始しました。
近年、集積回路技術に加えて、ナノテクノロジー、太陽電池、マイクロマシン(MEMS)など、半導体プロセスを用いた多様な技術への取り組みが重要になっています。このため、半導体プロセス技術の基本を身につけて、新領域を開拓する人材の育成が求められています。
本講習会は、上記設備を設置したクリーンルーム内での体験実習をとおして、半導体プロセスの理解を深めることを目的としています。また、講義としては、1日目に「車載・人検出センサへの応用を目指すMEMSセンサとその製作プロセス」を、2日目に「省エネルギー社会を支えるシリコン半導体デバイスの基礎と今後の展望」を取り上げました。

【ご参考】
クリーンルームを中心に、本学の研究設備を活用した企業・研究機関・他大学等への技術支援を行っています。
あわせてご活用ください。⇒「ナノテクノロジープラットフォーム(設備共用)事業」

【協賛】
スマートエネルギー技術研究センター
豊田工業大学ナノテクノロジープラットフォーム事業

定員

両日とも各24名

参加申し込み

お申し込みはこちらから:参加申込フォーム

申込締切

8月1日(月)

お問い合わせ

研究支援部 研究協力グループ 安田

[TEL](052)809-1723
[E-MAIL]sympo★toyota-ti.ac.jp(★を@に変更してください)

その他

*夏期休暇のお知らせ*

誠に勝手ながら、豊田工業大学では、8月5日(金)から8月17日(水)まで、夏期休暇とさせていただきます。
休業中のお問い合わせにつきましては、8月18日(木)以降の対応とさせていただきます。
ご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご了承の程よろしくお願い申し上げます。