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研究イベント

平成27年度フォトリソグラフィ・微細加工実習・講習会開催(7/9~10)

2015.05.15

開催日時

1日目…2015年7月9日(木) 13:20-17:30 <13:00受付開始>
2日目…2015年7月10日(金) 9:00-17:30 <8:40受付開始>

会場

本学1号棟3階 本館ホール
共同利用クリーンルーム他

交通アクセス

※本学南門は、校舎建て替え工事のため、現在閉鎖中です。本学へお越しの際には、正門からお入りくださいますようお願い申し上げます。

概要

本学は、開学当初より、一連の半導体の微細加工技術に対応できるクリーンルームを完備し、教育・研究開発・素子試作に活かす取組を進めてきました。また、そうした活動の一つとして、産業界や他大学などの要望に応えて、半導体技術に関する実習・講習会を開催しています。
今年は、これまで使ってきたクリーンルームの運転を7月末に終え、8・9月に関連設備を現在建設中の新施設に移設する予定です。このため、今回は、実習内容を限定した小規模の実習・講習会を、移転前に行うこととしました。また、本学は文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム(微細加工技術領域)の枠組みで、企業や他大学の研究者や技術者の要望に応える技術支援を行ってきましたが、今回の実習・講習会はその一環として開催するものです。
今年は、半導体の微細加工に必須のフォトリソグラフィに的を絞り、昨年度から 本格稼働したマスクレス露光装置を中心にした実習を行います。フォト リソグラフィの基本から応用に関する講義と合わせて、デジタルデータの設計から実際のパターン形成までを実習します。

【ご参考】
クリーンルームを中心に、本学の研究設備を活用した企業・研究機関・他大学等への技術支援を行っています。あわせてご活用ください。⇒「文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム(設備共用)事業」

【協賛】
スマートエネルギー技術研究センター

参加申し込み

お申し込みはこちらから:参加申込フォーム

お問い合わせ

研究支援部 研究協力グループ 安田

[TEL](052)809-1723
[E-MAIL]sympo★toyota-ti.ac.jp(★を@に変更してください)