豊田工業大学

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研究イベント

2017(平成29)年度 リソグラフィ・微細加工 実習・講習会 開催(8/3~8/4)

2017.06.09

2017.07.01更新


リソグラフィ・微細加工 実習・講習会を開催します。
講義および実習により、マスクレス露光装置を中心に、微細パターンの転写によってリソグラフィの基礎を習得して頂けます。

ハスの葉の凹凸構造に似せた微細パターンを自身でデザインして形成し、撥水効果の評価を行います。

学生の講義のみの聴講は無料となっておりますので、ぜひご参加ください。

※本講習会は、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム(設備共用)事業」の一環です。

開催日時

2017(平成29)年 8月3日(木)13:15-17:30 ~8月4日(金)9:00-17:30

会場

集合場所:本学東棟2階
実施場所:共同利用クリーンルーム他

交通アクセス

※本学南門は、校舎建て替え工事のため、現在閉鎖中です。本学へお越しの際には、正門からお入りくださいますようお願い申し上げます。

概要

実習・講義の題名実施場所内容
講義1

「フォトリソグラフィによるマイクロ・ナノ加工と関連装置」
豊田工大 教授 佐々木 実

東棟2階 フォトリソグラフィの基本と実際的なコツを説明する。工程に一手間加えると、特徴ある加工ができる。文献も合わせて、いくつかの事例を紹介する。
講義2

「微細構造による撥水効果(ロータス効果)」
豊田工大 教授 佐々木 実

東棟2階 ハスやサトイモの葉は、微細な突起によって撥水性を高めている。そのサイズや形状を紹介し、設計の参考とする。応用についても言及する。
実習A CADによるパターン設計 東棟2階 転写したい図形を汎用の2次元CADを用いて描画する。作成のポイントを実際の作業の中で説明する。参照パターンを紹介する。設計したパターンをデータ変換する。
実習B マスクレス露光装置によるパターン形成 東棟1階
クリーンルーム
マスクレス露光装置を用い、設計パターンをウェハ上に転写する。ウェハへのレジスト塗布から現像までを行う。更に、パターン表面に撥水性を高めるプラズマ成膜を行う。
見学 クリーンルーム付帯設備の見学 屋外 超純水製造設備・廃液処理設備・廃ガス除害装置・空調システムについて、現地説明する。

定員

10名

参加申し込み

お申し込みはこちらから:参加申込フォーム

申込締切

7月14日(金)【締切を7/3から延長しました】

※キャンセルされる場合は、7月28日(金)までにお知らせください。

お問い合わせ

研究支援部 研究協力グループ 安田

[TEL](052)809-1723
[E-MAIL]sympo★toyota-ti.ac.jp までお送りください。(★を@に変更してください)

その他

クリーンルームを中心に、本学の研究設備を活用した企業・研究機関・他大学等への技術支援を行っています。
あわせてご活用ください。