豊田工業大学

サイトマップ

文字サイズ 標準

訪問者別

MENU

研究イベント

第31回 半導体プロセス実習・講習会開催(9/14~9/15)

2017.06.09

豊田工業大学では、1985年のクリーンルームを設立後、半導体微細加工のための一連の設備を整え、教育と研究に活用しています。設備としては、リソグラフィ装置(電子線描画、マスクレス露光を含む)、エッチング装置、酸化・拡散炉、イオン注入装置、CVD・PVD装置、組立・評価装置などがあります。

近年、集積回路技術に加えて、ナノテクノロジー、太陽電池、マイクロマシン(MEMS)など、半導体プロセスを用いた多様な技術への取り組みが重要になっています。このため、半導体プロセス技術の基本を身につけて、新領域を開拓する人材の育成が求められています。

本講習会は、上記設備を設置したクリーンルーム内(2015年新クリーンルーム運用開始)での体験実習をとおして、半導体プロセスの理解を深めることを目的としています。また、講義としては、1日目に「MEMSセンサと製作プロセス-車載・人検出センサ-」を、2日目に「省エネルギー社会を支える化合物半導体デバイス」を
取り上げました。

※本講習会は、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム(設備共用)事業」の一環です。

開催日時

1日目…2017年9月14日(木) 9:30~17:30
2日目…2017年9月15日(金) 9:30~17:30
(予備日:2017年9月16日(土)…上記日程が中止なった場合)

会場

本学1号棟3階 本館ホール
共同利用クリーンルーム他

交通アクセス

※本学南門は、校舎建て替え工事のため、現在閉鎖中です。本学へお越しの際には、正門からお入りくださいますようお願い申し上げます。

概要

実習・講義の題名実施場所内容

講義1
MEMSセンサと製作プロセス
-車載・人検出センサ-
〔教授 佐々木 実〕

1号棟3F本館ホール 電子情報機器と組み合わされたセンサ類が、機械システムの知能化と共に新機能・応用を生み出している。加速度・ジャイロセンサによるゲーム機操作や各種機器操作のサポート、赤外線センサの人検出によるエアコンの省エネルギ運転などである。これら応用を技術的に可能にするのがMEMSセンサで、材料に加えて構造により機能を高度化する。半導体微細加工をベースに、高い生産性と共に製作される。実習で製作する熱電対を中心にして、原理、応用、製作プロセスを説明する。

講義2
省エネルギー社会を支える化合物半導体デバイス
〔教授 岩田 直高〕

1号棟3F本館ホール

窒化ガリウム(GaN)などの化合物半導体は、光デバイスとしての発光ダイオードが照明器具に、そして電子デバイスとしての高出力トランジスタが携帯電話基地局の送信用パワーアンプなどに広く使用され、従来の方式やデバイスでは実現できなかった省電力化を果たしている。
一方、結晶や製作プロセスの技術は、シリコンデバイスのそれとは大きく異なるとともに、解決すべき課題も残されている。ここでは、GaNトランジスタを中心に、製作プロセスの基礎とデバイスの動作原理を説明する。加えて、今後の技術開発の方向性を示す。

実習のオリエンテーション 1号棟3F本館ホール 半導体プロセスと本学のクリーンルームの構成との関連、半導体プロセスの概略工程、および実習内容、実施方法について簡単に説明する。
半導体プロセスの実習

クリーンルーム:E棟1F
実験室:E棟2F

熱電対デバイスを製作すると共に、酸化・拡散、リソグラフィ(ホト・電子線描画)、PVD(Physical Vapor Deposition)、薄膜のウェットエッチング、およびRIE (Reactive Ion Etching)、等の一連のプロセスを実習する。熱電対特性と、ホール係数測定の実習も行う。

定員

24名

参加申し込み

お申し込みはこちらから:参加申込フォーム

申込締切

8月1日(火)

※キャンセルされる場合は、9月7日(木)までにお知らせください。

お問い合わせ

研究支援部 研究協力グループ 安田

[TEL](052)809-1723
[E-MAIL]sympo★toyota-ti.ac.jp までお送りください。(★を@に変更してください)

その他

クリーンルームを中心に、本学の研究設備を活用した企業・研究機関・他大学等への技術支援を行っています。
あわせてご活用ください。

夏期休暇のお知らせ

誠に勝手ながら、豊田工業大学では、8月6日(日)から8月16日(水)まで、夏期休暇とさせていただきます。
休業中のお問い合わせにつきましては、8月17日(木)以降の対応とさせていただきます。
ご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご了承の程よろしくお願い申し上げます。