豊田工業大学

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支援員情報

クリーンルームを中心に、本事業の登録装置を活用した技術支援を行っております。

また、各研究室が管理している設備群もご利用可能となっており、専門支援員および研究室の教員による高度な技術指導や委託加工にも対応することができます。

実施体制

実施体制

業務項目担当者
(1)シリコン微細加工と評価の支援 佐々木 実
梶原 建
(2)MEMSデバイスの作製と評価に関する支援 佐々木 実
(3)化合物半導体量子構造の作製、評価、応用に関する支援 岩田 直高
神谷 格
(4)カーボン系ナノ材料、化合物半導体・シリコン系ナノ構造の作製と評価の支援 大下 祥雄
山口 真史
小島 信晃
(5)プローブ顕微鏡による表面科学計測、ナノカーボン創製と応用の支援 吉村 雅満
(6)スピントロニクス材料とデバイスの作製と評価の支援 粟野 博之
(7)機能性粒子の作製と評価に関する支援 栁瀬 明久
(8)有機物及び高分子の極限構造評価と物性との相関解明に関する支援 田代 孝二

専任支援員紹介

梶浦 敬三

梶浦 敬三

得意な装置

  • 拡散炉
  • マスクアライナー
  • 蒸着装置

梶原 建

梶原 建

得意な装置

  • 電子ビーム描画装置
  • マスクレス露光装置
  • イオン打ち込み装置

  など、CR内の装置全般

紹介された記事

  • 加工PFインタビュー2014.7.30.
  • 電学論E131(2011)2.
  • NanotechJapan Bulletin 4, 3(2011).