豊田工業大学

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支援内容

学内および学外からの利用が可能なクリーンルームを備え、シリコン系（3～4インチ対応）素子の微細加工と関連プロセス設備群を中心に、一連の設備を持ち、教育と研究および研究支援を推進しています。電子線描画や酸化・拡散炉など、微細加工に必要な標準設備を揃え、一連の試作が施設内で実施可能です。この基盤技術と、多種多様なナノテクノロジー材料を扱う研究室群とが密接に連携して研究活動を進めています。2012年から10年間ナノテクノロジー・ネットワーク事業で推進してきましたシリコン微細加工技術と、様々な材料によるナノ構造体とのハイブリッド化に関する支援を強化しております。クリーンルームは企業で実務経験のある技術職員が管理しており、高度な技術指導や委託加工も対応いたします。さらに支援担当の研究室群から、Ⅲ-Ⅴ族、カーボン、磁気材料にも対応できるナノ構造の加工・形成・計測評価用の設備群も提供し、学内研究者がご協力いたします。小規模大学ながら、太陽電池、ナノ構造素子と素材、MEMSなどに関する研究設備と技術を提供させていただいております。走査プローブ顕微鏡やX線計測分野の装置と技術から、構造評価も一か所で迅速に対応が可能です。協力研究室の主要設備は、学外研究者の利用も可能となっております。

本学では、｢マテリアル先端リサーチインフラ事業｣実施機関として、｢微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム実施機関｣で支援してきた内容も対応可能です。ご質問、ご相談は、各担当者にお気軽にご連絡ください。

支援形態は以下の通りです。

技術相談 技術的な問題解決について、スタッフが様々な相談に対応いたします。
機器利用 操作技術を有する利用者が自ら機器を操作し、実験を行います。
技術補助 装置の操作方法などについて、利用者がスタッフの指導・補助を受けながら、装置を使用します。
技術代行 利用者からの依頼に基づいて各種技術支援を代行いたします。
共同研究 利用者と本学の研究者が共同で研究を行い、成果を発信します。

（1）シリコン超微細加工と評価の支援

クリーンルームには、シリコン系（3～4インチ対応）素子の微細加工と関連プロセス設備群が設置されている。成膜、リソグラフィ、洗浄、熱処理・不純物処理、エッチング、計測・分析にわたる、微細加工に必要な標準設備を備え、一連の試作が施設内で実施できる。微細構造や物性の評価については、クリーンルーム内の評価装置に加えて関係研究室の精密分析装置を併用して支援を実施する。

主な支援項目

  • ① アライナ用のマスク作製や電子線描画による直接露光
  • ② イオン注入や熱拡散による不純物導入プロセス
  • ③ ウェットおよびドライエッチングプロセス
  • ④ 試作プロセス途中および完了後の評価など
    （必要に応じて関係研究室の支援による）

担当者

佐々木実 教授 mnr-sasaki★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）
梶浦敬三 支援員 kajiura★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）

（2）MEMSデバイスの作製と評価に関する支援

ナノ構造とも組み合わされるMEMSデバイスの製作と評価を支援する。Siの深堀エッチング加工や犠牲層エッチング、フォトリソグラフィを駆使する3次元構造形成、新規デバイスの製作と評価を支援する。評価には、光干渉式3次元表面形状測定による動的特性評価も含まれる。

担当者

佐々木実 教授 mnr-sasaki★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）

（3）化合物半導体量子構造の作製、評価、応用に関する支援

化合物半導体ナノ構造の形成のために、分子線エピタキシーによるAlGaInAs系、AlGaInSb系のナノ薄膜、超格子、量子ドットなどの構造や、これらを含む素子構造の形成を行う。材料の有機物との複合化を含む。ナノ構造の光物性（蛍光と光吸収特性）および電子物性（伝導特性）などの計測評価、原子間力顕微鏡によるナノ構造評価も含まれる。

担当者

岩田直高 教授 iwata★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）
神谷格 教授 kamiya★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）

（4）カーボン系ナノ材料、化合物半導体・シリコン系ナノ構造の作製と評価の支援

化合物半導体、シリコンなど半導体ナノ構造の物性評価と、太陽電池応用の評価を支援する。物性評価には、電界放出形走査電子顕微鏡（電子線後方散乱回折(EBSD)付属）（表面構造、結晶方位解析）などによる構造評価、半導体の電子物性（キャリア濃度、移動度）、キャリア寿命測定などを含む。

担当者

大下祥雄 教授 y_ohshita★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）
小島信晃 講師 nkojima★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）

（5）プローブ顕微鏡による表面科学計測、ナノカーボン創製と応用の支援

超高真空や雰囲気制御可能なプローブ顕微鏡を駆使した表面構造の高分解能評価に加えて、機械特性、電気特性、磁気特性の測定を支援する。また、ナノ機能デバイスを実現することを目的として、ナノチューブやグラフェンなどのカーボンナノ材料の合成支援と構造評価、微細加工技術を導入することによるナノチューブの顕微鏡プローブ応用などの支援を行う。

担当者

吉村雅満 教授 yoshi★toyota-ti.ac.jp
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（6）スピントロニクス材料とデバイスの作製と評価の支援

ナノサイズの細線パターン状に形成する、微弱電流磁壁駆動磁性細線メモリのための情報記録スピン材料の創生と評価に関する支援を行う。省電力・大容量メモリ、省電力スピンロジック、近接場光磁気記録、超高感度磁気センサー、温度センサーなどが関係する。

担当者

粟野博之 教授 awano★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）

技術支援員の情報は下記ページをご覧ください。

お問合せ先 豊田工業大学事務局 研究支援部
研究協力G 後藤
Tel 052-809-1723
E-mail arim_office★toyota-ti.ac.jp
（★は@に置き換えてください）