説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Papers & Presentations説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像

 

April 2013 –

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 An Atmospheric Pressure Inductively Coupled Microplasma Source of Vacuum Ultraviolet Light”

Sensors & Actuators: A. Physical, accepted.

Ryoto Sato, Daisuke Yasumatsu, Shinya Kumagai, Keigo Takeda, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Non-Contact Voltage Measurement Using a Micro-Resonator”

電気学会論文誌E, Vol. 133-E, No.8 (2013), pp.354-358.

Satoshi Hasegawa, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像  “Nonlinear Spring Effect of Tense Thin-Film Torsion Bar Combined with Electrostatic Driving”

Sensors and Actuators: A. Physical, Volume 195, 1 June 2013, pp.83–89.

Subrata Kumar Kundu, Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 A Wearable Capacitive Sensor to Monitor Human Respiratory Rate”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52 (2013) 04CL05.

Subrata Kumar Kundu, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 


April 2011 – March 2013

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Theoretical Calculation of Electromagnetic Field of Floating Metal Wire for Inductively Coupled Micro Plasma Using Spiral Coil”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 52 (2013) 01AA02.

Kyyoul Yun, Keisuke Fujisaki, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Minimizing Plasma Irradiation Area by Micro-Nozzle Device Towards Single Cell Treatment

Micro and Nano Letters, Vol. 7 (December 2012) pp.1210-1212.

Ryutaro Shimane, Shinya Kumagai, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Improving Crystallinity of Thin Si Film for Low-Energy-Loss MEMS/NEMS Devices by Metal-Induced Lateral Crystallization using Biomineralized Ni Nanoparticles

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 51 (2012) 11PA03.

Shinya Kumagai, Hiromu Murase, Syusuke Miyachi, Nobuaki Kojima, Yoshio Ohshita, Masafumi Yamaguchi, Ichiro Yamashita, Yukiharu Uraoka, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Macro Model Study for Nonlinear Spring of Tense Torsion Bar in Gap-Closing Type Electrostatic Micromirror

Journal of Mechanics Engineering and Automation, Vol. 2, No. 7 (2012) pp.446-454.

Gyu Il Shim, Ryoichi Mimoto, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Infrared collecting lens having millimeter-size diameter integrated with Si photo cell

電気学会論文誌E Vol. 132, No. 5 (2012) pp.119-126.

Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Investigation of Optical Flatness of Stretched Membrane Drum-Type Micromirror

IEEE/OSA Journal of Lightwave Technology, Vol. 30, No. 10 (2012.5.15) pp. 1377-1385.

Subrata Kumar Kundu, Akiyoshi Hikita, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 


April 2011 – March 2012

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Wireless Driving of a Micromirror Device by Electoromagnetic Excitation Tuned to Mechanical Resonance of Rotation”

Machine Design and Tribology (Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing), Special Issue on ICMDT 2011 - Advances in Manufacturing, Vol. 6, No. 1 (2012) pp.1-10.

Shinya KUMAGAI, Narimune OHNISHI, Minoru SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Improving Photoresist Spray Coating Using a Shield Plate with an Aperture toward Trench-type Three Dimensional Microdevices

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 51 (2012) 02BL04.

Shinya Kumagai, Naoya Fukuda, Hisayoshi Tajima and Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 Floating Wire for Enhancing Ignition of Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 51 (2012) 01AA01.

Shinya Kumagai, Hirotaka Asano, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Multiple-Height Microstructure Fabricated by Deep Reactive Ion Etching and Selective Ashing of Resist Layer Combined with UV Curing”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 51 (2012) 01AB04.

Shinya Kumagai, Akiyoshi Hikita, Takuya Iwamoto, Takashi Tomikawa, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Multi-Wavelength Selective IR Emission Using Surface Plasmon Polaritons for Gas Sensing”

IEEE Photonics Technology Letters, Vol. 23, No. 22 (2011) 1661-1663.

Katsuya Masuno, Takahiro Sawada, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Flow Analysis of Photoresist Spray Coating towards Improving Coverage on Three-Dimensional Structures”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50 (2011) 106501.

Shinya Kumagai, Hisayoshi Tajima, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Novel Atmospheric Pressure Inductively Coupled Micro Plasma Source Using Floating Wire Electrode”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 8 (2011) 08JA02.

Shinya Kumagai, Hiroki Matsuyama, Yoshihiro Yokoyama, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Transportable micro plasma light source system

Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science, P-25 (2012.3.9-10, Inuyama, Japan).

H. Matsuyama, S. Kumagai, K. Takeda, N. Ebiduka, H. Hori, M. Sasaki

 

説明: 説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像3-Dimensional Electromagnetic Field Calculation of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil

Proceedings of 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P2025A, p.137 (2012.3.5-8, Kasugai, Japan)

Keisuke Fujisaki, Yun Kyyul, Minoru Sasaki

 

説明: 説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Grating Profile Control for Plasmonic Thermal Emitter Using Plasma Etching

Proceedings of 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1041A, p.83 (2012.3.5-8, Kasugai, Japan)

T. Sawada, S. Kumagai, M. Sasaki

 

説明: 説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Ignition Characteristic of Micro Plasma Using Floating Electrode Partially Exposed Inside Gas Channel

Proceedings of 4th International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1001A, p.65 (2012.3.5-8, Kasugai, Japan)

R. Sato, H.Asano, S.Kumagai, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像3-D WIRING ACROSS VERTICAL SIDEWALLS OF SI PHOTO CELLS FOR SERIES CONNECTION AND HIGH VOLTAGE GENERATION

The 25th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (2012.1.31, Paris, France), Session IV - Fabrication, Oral Session IV - Fabrication, pp.60-63.

S. Kumagai, T. Yamamoto, H. Kubo, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像MEMS Resonator Improved by Controlling Generation of Crystallization Nuclei in Si Thin Film Structure

Proceedings of the 18th International Display Workshops, MEET5-5 (2010.12.8, Nagoya, Japan) in schedule.

S. Kumagai, H. Murase, S. Miyachi, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Evaluation of Stress Concentration and Deformation of Drum-Type Micromirror

Proceedings of the 18th International Display Workshops, MEET5-3 (2011.12.8, Nagoya, Japan) in schedule.

S. K. Kundu, A. Hikita, S. Kumagai, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Multi-Wavelength Selective IR emission Using Surface Plasmon Polariton for CO2 Gas Sensing

Proceedings of 2011 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, (2011.8.8, Istanbul, Turkey) 13-14.

Katsuya Masuno, Takahiro Sawada, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像BIONANO CRYSTALLIZED POLY-SI FILM FOR INCREASING TENSILE STRESS IN MEMS/NEMS DEVICE STRUCTURES

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, T4C.001 (2011.6.5-9, Beijing, China) 1733-1736.

S. Kumagai, S. Miyachi, I. Yamashita, Y. Uraoka, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像INDIRECT WAVELENGTH SELECTIVE INFRARED EMITTER USING SURFACE PLASMON POLARITON

The 16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, T3P.147 (2011.6.5-9, Beijing, China) 1586-1589.

K. Masuno, T. Sawada, S. Kumagai, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Wireless driving of a micromirror through electromagnetic induction

Proceedings of the 4th international conference on manufacturing, machine design and tribology, pp.239-240 (26 April 2011, Gamagori, Aichi).

Shinya Kumagai, Narimune Ohnishi, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Nonlinear spring characteristics analyzed by a macro model of an electrostatically driven micromirror device

Proceedings of the 4th international conference on manufacturing, machine design and tribology, pp.237-238 (26 April 2011, Gamagori, Aichi).

Shinya Kumagai, Gyu Il Shim, Ryoichi Mimoto, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像UVキュアを利用した微細パターンの形成

28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2010.9.26-27 船堀)予定

岩本拓也,熊谷慎也,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Si光電池と集積したmmサイズ赤外線集光レンズ

28回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム(2011.9.26-27 船堀)予定

青沼拓朗,熊谷慎也,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像微細加工した大気圧マイクロプラズマ光源

日本機械学会 2011年度 年次大会, J1610432010.9.13 東京工業大学)

佐藤龍仁,横山佳弘,浅野博敬,熊谷慎也,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スパイラルコイル型マイクロプラズマ源に導入した浮遊電極の特性

72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 30a-ZD-3, 08-1402011.8.30 山形大学)

浅野博敬,熊谷慎也,堀勝,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像浮遊電極を導入した平板型マイクロプラズマ光源

72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 30a-E-15, 22-0152011.8.30 山形大学)

松山弘樹,熊谷慎也,堀勝,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Niフェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長によるSi薄膜機械特性の向上

72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 30p-E-5, 22-0202011.8.30 山形大学)

村瀬弘,宮地修輔,熊谷慎也,山下一郎,浦岡行治,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像UVキュア処理レジストのアッシング特性

72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 30p-E-8, 22-0232011.8.30 山形大学)

冨川崇,岩本拓也,熊谷慎也,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Niフェリチンを用いたSi薄膜の結晶化によるMEMSデバイス特性の向上

72回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 1p-V-14, 12-3562011.9.1 山形大学)

宮地修輔,熊谷慎也,山下一郎,浦岡行治,佐々木実

 


April 2010 – March 2011

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-Infrared Detector Stable Against Incident Angle and Temperature Change”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 50, No. 3 (2011) 037201.

Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Kohji Tashiro, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Reflection-type Wavelength Selective IR Emitter Using Surface Plasmon Polariton

Optics Letters, Vol. 36, No.3 (2011) pp.376-378.

Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Proposal of High-Density Packaging Construction and Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall Using Spray Coating Technology”

電気学会論文誌E Vol. 131, Number 1, (2011) pp.40-44.

Hiroki Morii, Fumikazu Oohira, Takaaki Suzuki, Kyohei Terao, Minoru Sasaki, Toshihiko Ochi, Asumi Yuzuriha and Katsuhito Wani

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Contrast Enhancement of Wavelength Selective Detection on Mid-Infrared Using Localized Atmospheric Plasma Treatment”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 49, No. 4 (2010) 04DL18.

Katsuya Masuno, Kohji Tashiro, Masaru Hori, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Ferritin in the field of nanodevices”,

Biochimica et Biophysica Acta General Subject, Vol. 1800 (2010) pp.846-857.

I, Yamashita, K. Iwahori, S. Kumagai

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Position-Controlled Vertical Growths of Individual Carbon Nanotubes Using a Cage-Shaped Protein,

Applied Physics Express, Vol. 3, 015101-1-3, (2010).

S. Kumagai, T. Ono, S. Yoshii, A. Kadotani, R.  Tsukamoto, K. Nishio, M. Okuda, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Light-Weighted Micromirror Fabricated Using Stacked Photoresist Masks Realized by UV Curing

Proceedings of the 4th International Conference on PLAsma-Nano Technology and Science, O-06 (2011.3.11, Takayama, Japan).

A. Hikita, T. Iwamoto, S. Kumagai, M. Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Characteristics of Floating Metal Wire in Micro Plasma Using Spiral Coil

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-003A (2011.3.7, Nagoya, Japan) p.56.

H. ASANO, S. KUMAGAI, M. SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Ignition characteristics of planer micro-plasma source using floating sheet electrode

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P1-005A (2011.3.7, Nagoya, Japan) p.57.

Y. YOKOYAMA, H. MATSUYAMA, S. KUMAGAI, M. SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Multiple-height Microstructure Fabricated by ICP-RIE and Masking Layers Using Only Photoresists

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P2-009A (2011.3.8, Nagoya, Japan) p.101.

A. HIKITA, T. IWAMOTO, S. KUMAGAI, M. SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像UV curing of photoresist for MEMS processes

Proceedings of 3rd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, P3-093-LNA (2011.3.8, Nagoya, Japan) Late News p.17.

T. IWAMOTO, S. KUMAGAI, M. SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror

Proceedings of the 17th International Display Workshops, MEET2-3 (2010.12.2, Hakata, Japan) pp.1581-1584.

Shouhei Ogawa, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Patient Monitoring Outside the Hospital

Proceedings of 2010 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science (2010.11.10, Nagoya, Japan) pp.429-434.

Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Source with Floating Electrode

Bulletin of American Physical Society, 63rd Gaseous Electronics Conference & 7th International Conference on Reactive Plasmas, CTP206 (2010.10.5, Paris, France), p.52.

Shinya Kumagai, Hiroki Matsuyama, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Controlled Thermal Emission of Narrow-band IR Waves for Downsizing Sensor Module

Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-4 (2010.9.24, Tokyo, Japan) pp.1174-1175.

Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Atmospheric Pressure Micro Inductively Coupled Plasma Light Source towards Portable Spectrometry System

Extended Abstracts of the 2010 International Conference on Solid State Devices and Materials, G-8-3 (2010.9.24, Tokyo, Japan) pp1172-1173.

Shinya Kumagai, Hiroki Matsuyama, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Absorbent liquid immersion angled exposure for 3D Photolithography

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, M4-4 (2010.8.12 , Sapporo, Japan) pp.39-40.

Hironori Kubo, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Large-size Infrared Reflow Microlens Based on Stacked Layers

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, W1-5 (2010.8.11, Sapporo, Japan) pp.93-94.

Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Enhanced Contrast of Wavelength Selective Mid-IR Detector Stable against Temperature Change

Proceedings of 2010 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, PO-19 (2010.8.11, Sapporo, Japan) pp.137-138.

Katsuya Masuno, Shinya Kumagai, Kohji Tashiro, Masaru Hori, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像UVキュアによるレジスト硬化を利用した多段階立体構造のエッチング加工

58 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 25a-KU-15, 03-0392011.3.25 神奈川工科大学)

熊谷慎也, 疋田晃義, 岩本拓也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像傍熱型波長選択プラズモニック赤外光源

58 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集25a-BH-10, 03-1842011.3.25 神奈川工科大学)

桝野雄矢, 澤田貴裕, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像3次元立体構造上にスプレー塗布されるレジスト膜厚の均一化

58 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集24a-BJ-5, 07-0342011.3.24 神奈川工科大学)

熊谷慎也, 福田直也, 田嶋久義, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スパイラルコイル型マイクロICPに導入した浮遊電極による点火特性

58 回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集24p-KJ-10, 08-0102011.3.24 神奈川工科大学)

浅野博敬, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像マイクロミラー用薄膜トーションバーの精密計測とハードスプリング効果に関する考察

日本機械学会東海支部第60期総会講演会講演論文集6092011.3.15 豊橋技術科学大学)

小川翔平, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像赤外吸収式ガスセンサのための小型・省電力波長選択光源

日本機械学会 東海学生会 42回学生員卒業研究発表講演会 1108

澤田貴裕, 桝野雄矢, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スプレーコーティングの気流解析と膜厚分布均一化

電気学会センサ・マイクロマシン部門主催 27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集B2-1, pp.72752010.10.14、くにびきメッセ、島根)

佐々木実, 田嶋久義, 福田直也, 熊谷慎也

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Absorbent liquid immersion angled exposure for patterning 3D samples with vertical side walls

Minoru Sasaki, Hironori Kubo, Shinya Kumagai

電気学会センサ・マイクロマシン部門主催 27回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集B2-2, pp.76792010.10.14、くにびきメッセ、島根)

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像MEMS化に適した大気圧プラズマ光源

71回秋季 応用物理学会学術講演会 講演予稿集, 14p-P4-6, 08-0282010.9.14 長崎大学 文教キャンパス)

松山弘樹, 熊谷慎也, 堀勝, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像MEMSSi薄膜材料の内部応力増強に向けたNiフェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長

日本機械学会 2010年度 年次大会講演論文集(8), T1602-3-1, pp.235-2362010.9.8 名古屋工業大学)

熊谷慎也, 宮地修輔, 山下一郎, 浦岡湯行治, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像レジストのスプレー成膜におけるアパーチャの効果

日本機械学会 2010年度 年次大会講演論文集(8), T1601-3-4, pp.213-2142010.9.7 名古屋工業大学)

福田直也, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像高輝度大気圧マイクロプラズマ

日本機械学会 2010年度 年次大会講演論文集(8), T1601-3-3, pp.211-2122010.9.7 名古屋工業大学)

浅野博敬, 熊谷慎也, 佐々木実

 


April 2009 – March 2010

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Buckled Bridges Using Film Stress for Three-Dimensional Structures, -Effects of lateral designs to vertical profiles and dynamic characteristics-“

IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering, Vol. 5, No. 2 (2010) pp.131-136.

Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Danick Briand, Wilfried Noell, Nicolaas F. de Rooij

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Simultaneous Realization of Stabilized Temperature Characteristics and Low-Voltage Driving of Micromirror Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si”

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Vol. 15, No.5, September/October (2009) pp.1455-1462.

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Characteristics of Improved Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 48, No. 4 (2009) 04C191.

Takuro AONUMA, Shinya KUMAGAI, Minoru SASAKI, Motoki TABATA, Kazuhiro HANE

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Electrostatic self-aligned placement of single nanodots by protein supuramolecules”,

Appl. Phys. Lett., Vol. 95, Issue 13 (2009) 133702.

S. Yoshii, S. Kumagai, K. Nishio, A. Kadotani, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Self-Aligned Placement of Biologically Synthesized Coulomb Islands within Nanogap Electrodes for Single Electron Transistor”

Appl. Phys. Lett., Vol. 94, Issue 8 (2009) 083103.

S. Kumagai, S. Yoshii, N. Matsukawa, K. Nishio, R. Tsukamoto, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Self-Aligned Placement of Biologically Synthesized Coulomb Islands within Nanogap Electrodes for Single Electron Transistor”

Appl. Phys. Lett., Vol. 94, Issue 8 (2009) 083103.

S. Kumagai, S. Yoshii, N. Matsukawa, K. Nishio, R. Tsukamoto, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Electrostatic self-aligned placement of single nanodots by protein supuramolecules

Applied Physics Lett., Vol.95 (2009) 133702-1-3.

S. Yoshii, S. Kumagai, K. Nishio, A. Kadotani, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Self-Aligned Placement of Biologically Synthesized Coulomb Islands within Nanogap Electrodes for Single Electron Transistor”,

Appl. Phys. Lett., Vol. 94 (2009) 083103-1-3.

S. Kumagai, S. Yoshii, N. Matsukawa, K. Nishio, R. Tsukamoto, I. Yamashita

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Atmospheric Pressure Plasma for Localized Material Deposition on IR Sensor

Proceedings of 2nd International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications for Nitrides and Nanomaterials, PB065C (2010.3.9, Nagoya, Japan) p.209.

K. MASUNO, K. TASHIRO, M. HORI, S. KUMAGAI, M. SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Extending Rotation Range Confirmed by Macro Model of Gap-closing Type Electrostatic Micromirror Controlling Non-linearity of Torsion Bar

Proceedings of the 16th International Display Workshops, MEMS5-3 (2009.12.10, Miyazaki, Japan) pp.1501-1504.

Gyu Il Shim, Ryoichi Mimoto, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Tensile Thin Film for MEMS Devices

Taiwan-Japan Bilateral Symposium on Research of Nanotechnology, (2009.12.1, National Cheng Kung University, Tainan, Taiwan)

Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Nanomachining combined with bulk micromachining

Proceedings of Second International Workshop on Nanotechnology and Application - IWNA 2009, NAP-150-I (2009.11.13, Vung Tau, Vietnam) pp.135-139.

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Microactuator Using Tensile Thin Film

Proceedings of 2009 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, (2009.11.11, Nagoya, Japan) pp.608-613.

Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Three-dimensional photolithography based on spray coating of photoresist

Abstracts of 3rd SJTU-Ritsumeikan University Micro/Nano Science and Technology Symposium 2009 (2009.10.19, Shanghai, China) pp.10-12.

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Nonlinear Spring of Thin Film Torsion Bar with Tension for Micromirror

Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (2009.10.9, Sendai, Japan) J-6-3, pp.1328-1329

Minoru Sasaki, Shinya Kumagai, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Thermopile IR Detector Integrated with Wavelength Selective Filter Stable Against Temperature and Incident Angle Change

Extended Abstracts of the 2009 International Conference on Solid State Devices and Materials (2009.10.8, Sendai, Japan) P-11-8, pp.683-684.

Masuno Katsuya, Kumagai Shinya, Sasaki Minoru, Tashiro Kohji

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Liquid Immersion Angled Exposure for 3D Photolithography

Proceedings of 2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, (2009.8.19 Florida, USA) WB-3, pp.75-76

Minoru Sasaki, Takafumi Hosono, Shinya Kumagai

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Wireless Driving of Micromirror Using Electromagnetic Induction

Proceedings of 2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, (2009.8.17 Florida, USA) MB-5, pp.11-12.

Minoru Sasaki, Narimune Ohnishi, Shinya Kumagai, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Ni フェリチンを用いた金属誘起横方向結晶成長によるSi 薄膜内応力の増強

57回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集20a-L-9, p.03-0352010.3.20, 東海大学)

宮地修輔, 熊谷慎也, 山下一郎, 浦岡行治, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像立体サンプルの平面と垂直壁への液浸斜め一括露光

57回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集17p-W-11, p. 07-0502010.3.17, 東海大学)

佐々木実,細野貴文, 熊谷慎也

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像3次元フォトリソグラフィにおける光減衰を伴う液体を用いた液浸斜め露光

日本機械学会 東海学生会 41回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集 pp.286-2872010.3.8

久保裕慎、熊谷慎也、佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像液浸斜め露光による垂直壁を持つサンプルのパターニング

電気学会センサ・マイクロマシン部門主催 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集B3-2, pp.5395422009.10.16, 船堀)

佐々木実, 細野貴文, 熊谷慎也

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像張力の加わったトーションバーを持つマイクロミラーのマクロモデルによる解析

電気学会センサ・マイクロマシン部門主催 第26回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム論文集P-1-12pp.1871902009.10.15, 船堀)

沈規一, 味元良一, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スプレーコーティングの流れ解析

日本機械学会年次大会, 講演論文集 Vol.8, pp.163-1642009.9.15, 岩手大学)

田嶋久義,熊谷慎也,佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像ギャップクロージング型静電マイクロミラーのマクロモデルによるpull-in現象解析

日本機械学会年次大会, 講演論文集 J1101-1-2, Vol.7, pp.241-2422009.9.14, 岩手大学)

沈規一, 味元良一, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像局所的大気圧プラズマ処理による波長選択赤外線ディテクタのコントラスト増強

70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 No.3, 8p-A-8,  p.9072009.9.8, 富山大学)

桝野雄矢, 田代孝二, 堀勝, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像非接触エネルギー転送によるマイクロミラーの駆動

70回応用物理学会学術講演会 講演予稿集 No.3, 8p-A-6, p.9062009.9.8, 富山大学)

熊谷慎也,大西成宗,宮地修輔,佐々木実,羽根一博

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像プラズマエレクトロニクス分科会企画「最先端MEMSを支えるプラズマプロセスの現状と展望」

イントロダクトリートーク

70回応用物理学会学術講演会, 講演予稿集 No.0, 8p-ZD-2, p.242009.9.8, 富山)

佐々木実

 


April 2008 – March 2009

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Compact Triangulation Sensor Realized by Bending Si Wafer with Optical Elements at Metal Hinges”

電気学会論文誌E, Vol. 128-E, No.6 (2008) pp.271-276.

Minoru Sasaki, Satoshi Endou, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 47, No. 4 (2008) pp. 3226-3231.

Minoru SASAKI, Fuminori BONO, Kazuhiro HANE

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “An optically flat micromirror using stretched membrane with crystallization-induced stress”

Journal of Optics A: Pure and Applied Optics, Vol. 10 (2008) 044004 (8pp).

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure”

電気学会論文誌E, Vol. 128-E, No. 3 (2008) pp.102-107.

Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像"Adsorption properties of a gold-binding peptide assessed by its attachment to a recombinant apoferritin molecule"

Applied Physics Express, Vol.1, No.3 (2008) pp. 034006-1 – 034006-3.

K. Ishikawa, K. Yamada, S. Kumagai, K.-I. Sano, K. Shiba, I. Yamashita, M. Kobayashi

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Micromirror realized by combined surface and bulk micromachining using isotropic and anisotropic Si etching

Proceedings of First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (2009.3.9, Nagoya, Japan) Mo-21, p.143.

MINORU SASAKI, SHINYA KUMAGAI, KAZUHIRO HANE

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Liquid immersion angled exposure technique for 3D photolithography

Proceedings of First International Symposium on Advanced Plasma Science and its Applications (2009.3.9, Nagoya, Japan) Mo-20, p.142.

TAKAFUMI HOSONO, SHINYA KUMAGAI, MINORU SASAKI

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Combination of LOCOS process and plasma Si etching using delayed mask for integrating sensor inside micromirror

The 8th International Workshop of Advanced Plasma Processing and Diagnostics Joint Workshop with Plasma Application Monodzukuri, (2009.1.21, Gifu, Japan)

S. Kumagai, T. Aonuma, M. Sasaki, M. Tabata, K. Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Conditions of Micromirror Lifted by Buckled Bridges Using Film Stress

Proceedings of the 15th International Display Workshops, MEMS3-4 (2008. 12. 4, Niigata, Japan) pp.1337-1340.

M. Sasaki, K. Hane, D. Briand, W. Noell, N. de Rooij,

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Nonlinear Rotational Spring with Tension for Stabilizing Electrostatically Driven Micromirror

Proceedings of 2008 International Symposium on Micro-NanoMechatronics and Human Science, Organized Session: SA-2: Actuators (2008. 11. 8, Nagoya, Japan) pp.225-230.

M. Sasaki, S. Kumagai, K. Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror Device

Extended Abstracts of the 2008 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tsukuba, 2008, D-7-3, (2008.9.26, Tukuba, Japan) pp. 932-933.

Takuro Aonuma, Shinya Kumagai, Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Piezoresistive Rotation Angle Sensor in Micromirror for Feedback Control

Proceedings of the 7th International Conference on Machine Automation (2008. 9. 26, Awaji, Japan) pp. 279-282.

Takuro Aonuma1, Minoru Sasaki1, Shinya Kumagai1, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Conductive Pattern Forming Method on Vertical Wall using Spray Coating and Angled Exposure Technologies

Proceedings of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics, P30 (2008.8.13, Freiburg, Germany) pp.156-157.

H. Morii, F. Oohira, M. Sasaki, T. Ochi, A. Yuzuriha

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Stabilization of Temperature Characteristics of Micromirror for Low-Voltage Driving Using Thin Film Torsion Bar of Tensile Poly-Si

Program of 2008 IEEE/LEOS Int. Conf. Optical MEMS and Nanophotonics, P12 (2008.8.13, Freiburg, Germany) pp.120-121.

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Micromirror Using Thin Film Torsion Bar with Crystallization-Induced Stress

Proceedings of the 2nd International Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs (2008.4.17, Makuhari, Japan) pp.149-152.

Minoru Sasaki, Masayuki Fujishima, Hideo Miura, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像温度依存性の少ない分光機能集積型赤外線ディテクタ

56回応用物理学関係連合講演会 講演予稿集 No.3, p.10292009.4.2 筑波大学)

桝野雄矢, 熊谷慎也, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像ギャップクロージング型静電マクロミラーのマクロモデルよるpull-in現象解析

日本機械学会東海学生会 40回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集, 913,  pp.286-2872009.3.16 岐阜大学)

味元良一, 佐々木実, 熊谷慎也

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像MEMS用アッシング装置の開発

日本機械学会東海学生会 40回学生員卒業研究発表講演会 講演前刷集, 116,  pp.29-302009.3.16 岐阜大学)

岩本拓也, 佐々木実, 熊谷慎也

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側面への配線形成技術

中部地区ナノテク総合支援 平成20年度成果報告会 T20, pp.37-38(名古屋大学 2009.3.5

森井裕貴, 大平文和, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像機器のヘルスモニタリング用MEMSセンサについての考察, TER-09-11, PHS-09-11

電気学会研究会資料、交通・電気鉄道、フィジカルセンサ合同研究会pp.53-572009.2.4名古屋)

佐々木実, 青沼拓朗, 上野明, 熊谷慎也, 徐超男

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スプレーコート技術と斜め露光技術による垂直側壁への配線形成技術

25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, A1-6, pp.29-322008.10.23 沖縄)

森井裕貴, 大平文和, 佐々木実, 越智寿彦, 杠明日美,和爾克人

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像スプレーコーティングしたレジスト膜の評価方法の検証

25回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, P-1-10, pp.250-2532008.10.23 沖縄)

田嶋久義, 佐々木実

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像温度補償した高速応答可能な低電圧静電駆動型マイクロミラー

文部科学省 科学研究費補助金 特定領域研究「ブレイクスルーを生み出す次世代アクチュエータ研究」第5回公開シンポジウム資料, pp.67-602008.12.8-9 東京大学)

佐々木実, 熊谷慎也, 羽根一博, 三浦英生

 


April 2007 – March 2008

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Angled Exposure Method for Pattering on Three-Dimensional Structures”

Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 46, No. 9B, (2007) pp.6449–6453.

Vijay Kumar SINGH, Minoru SASAKI, and Kazuhiro HANE

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Geometric characteristics of silicon cavities etched in EDP”

Journal of Micromechanics and Microengineering, Vol. 17, Issue 5 (2007) pp.1012-1016.

Hui Ju, Takayuki Ohta, Masafumi Ito, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Masaru Hori

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像 “Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror

IEEE Journal of Selected Topics in Quantum Electronics, Vol. 13, Issue 2 (2007) pp. 290-296.

Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Micromirror Using Stretched Thin Film for Lower Electrostatic Driving Voltage and Higher Resonant Frequency

Proceedings of the 14th International Display Workshops, MEMS5-1 (2007.12.6, Sapporo, Japan) pp.1399-1402.

Minoru Sasaki

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Anodic Wafer Bonding Realizing Ball Lens Assembly for Absolute Micro-encoder

Proceedings of 1st International IEEE Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (2007.11.9, Hongo, Japan) pp.387-388.

Minoru Sasaki, Fuki Nakai, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Optically Flat Micromirror Designs Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress

Proceedings of 2007 IEEE LEOS Annual Meeting Conference, ThC2 (2007.10.25, Florida, USA) pp.709-710.

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress

Proceedings of the 4th Public Symposium on Next-Generation Actuators Leading Breakthroughs (2007.11.19, Okinawa, Japan) pp.49-52.

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Performance of Tense Thin Film Torsion Bar for Large-Rotation and Low-Voltage Driving of Micromirror

Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-4 (2007.9.19, Tsukuba, Japan) pp.92-93.

Minoru Sasaki, Shinya Yuki, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Large Displacement Micro XY-Stage with Paired Moving Plates

Extended Abstracts of the 2007 International Conference on Solid State Devices and Materials, D-2-2 (2007.9.19, Tsukuba, Japan) pp.88-89.

Minoru Sasaki, Fuminori Bono, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Passivated Piezoresistive Rotation Angle Sensor Integrated in Micromirror

Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, ThB2 (2007.8.16, Hualien, Taiwan) pp.193-194.

Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Optically Flat Micromirror Using Stretched Membrane with Crystallization-Induced Stress

Proceedings of Optical MEMS & Nanophotonics 2007, International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, MC3 (2007.8.13, Hualien, Taiwan) pp.27-28.

Minoru Sasaki, Takashi Sasaki, Kazuhiro Hane, and Hideo Miura

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像DRIVING OF MICROMIRROR AND SIMULTANEOUS DETECTION OF ROTATION ANGLE USING INTEGRATED PIEZORESISTIVE SENSOR

Digest of Technical Papers of the 14th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, 3EK9.P (2007.6.13, Lyon, France) pp.2151-2154.

Minoru Sasaki, Motoki Tabata, Kazuhiro Hane

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像対になったテーブルを走査する静電駆動型大変位マイクロXYステージ

19回「電磁力関連のダイナミクス」シンポジウム講演論文集B146,  pp.124-1252007.5.16-18 早稲田大学)

佐々木実, 坊野史典, 羽根一博

 

説明: 虫ピンアイコン,フリー素材画像Development of MEMS Capacitive Sensor Using a MOSFET Structure

24回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム, pp.254-2582007.10.16船堀)

Hayato Izumi, Yohei Matsumoto, Seiji Aoyagi, Yusaku Harada, Shoso Shingubara, Minoru Sasaki, Kazuhiro Hane, Hiroshi Tokunaga

 


revision: 16 November 2012