豊田工業大学

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ニュース掲載日:2014年5月27日

日時

1日目…2014年9月3日(水)  9:30〜17:30

2日目…2014年9月4日(木) 9:30〜17:30

(予備日:2014年9月5日(金)…上記日程が中止なった場合)

場所

本学1号棟3階 本館ホール    →交通アクセスはこちら

共同利用クリーンルーム他

 

豊田工業大学では、1985年のクリーンルーム完成後、半導体微細加工に係わる一連の設備を整え、教育と研究に活用しています。設備としては、マスク製造装置、リソグラフィ装置(電子線描画、マスクレス露光を含む)、エッチング装置、洗浄設備、酸化・拡散炉、イオン注入装置、CVD・PVD装置、組立・評価装置などがあります。

近年では、集積回路技術の基幹に加えて、ナノテクノロジー、太陽電池、マイクロマシン(MEMS)をはじめとする、より広範な技術への取り組みが活発になっています。このため、半導体プロセス技術の基本を身につけた、新しい機能を創出できる人材の育成が求められています。

本講習会は、上記設備を用いたクリーンルーム内体験実習をとおして、半導体プロセスの理解を深めることを特徴としています。今回の講義としては、1日目に車載・生物センサへの応用を目指すMEMSセンサとその製作プロセスを、2日目に高効率化・低コスト化を目指す太陽電池技術を取り上げました。

 

 

◆実施概要はこちら

◆参加ご希望の方は、こちらからお申込み下さい。(定員は両日とも各24名)

 

 

*夏期休暇のお知らせ*
誠に勝手ながら、豊田工業大学では、8月5日(火)から8月20日(水)まで、夏期休暇とさせていただきます。

休業中のお問い合わせにつきましては、8月21日(木)以降の対応とさせていただきます。

ご迷惑をおかけいたしますが、何卒ご了承の程よろしくお願い申し上げます。

 

【ご参考】

クリーンルームを中心に、本学の研究設備を活用した企業・研究機関・他大学等への技術支援を行っています。あわせてご活用ください。⇒「ナノテクノロジープラットフォーム(設備共用)事業」

 

【協賛】
 ・ナノテクノロジープラットフォーム支援(微細加工技術領域)
 ・スマートエネルギー技術研究センター

 

お問い合わせ先: 研究支援部 研究協力グループ 安田

TEL : (052)809-1723

E-MAIL:sympo@toyota-ti.ac.jp

 



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