豊田工業大学

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施設の特色

施設の特色

  • フレキシビリティの高さ
    クリーン度の変更、研究設備等の配置替え等に対し柔軟な対応が可能です。
  • 省エネルギー化が可能
    省エネルギー運転の工夫も盛りこんでおり、省エネルギー化に関する実験等も可能です。
  • 安全性の高さ
    有害なガスの除害や漏洩監視、廃液処理施設の設置等、クリーンルーム内の安全性やクリーンルーム外の環境保全にも十分配慮しています。

クリーンルーム内 設備配置図

クリーンルーム内 設備配置図

[露光などリソグラフィ室(クラス100)]

  1. レジスト塗布装置
  2. 電子線描画装置
  3. マスクレス描画装置
  4. マスクアライナ

[炉室]

  1. 縦型拡散炉

[酸化・拡散炉室(クラス10,000)]

  1. 横型拡散炉
  2. イオン注入装置
  3. ウェハDC測定装置
  4. 四探針比抵抗計
  5. エリプソメータ
  6. 光干渉膜厚計
  7. 表面粗さ計(段差測定)
  8. 高速熱処理装置

[スパッタ・蒸着など成膜・加工室(クラス10,000)]

  1. ライフタイム測定装置
  2. 電子ビーム蒸着装置
  3. 抵抗加熱蒸着装置
  4. 深堀イオンエッチング装置
  5. UVドライクリーナ
  6. 反応性イオンエッチング装置
  7. スパッタ装置

[エッチングなどドラフト・洗浄室(クラス1,000)]

  1. 洗浄・エッチングドラフト
  2. 洗浄・エッチングドラフト(化合物系)

[半導体・グラフェン成長など気相プロセス室(クラス10,000)]

  1. 熱化学気相成膜装置
  2. プラズマ化学気相成膜装置
  3. 常圧化学気相成膜装置
  4. 塩素系エッチング装置
  5. 原子層堆積装置
  6. 化学ビームエピタキシー装置
  7. 熱化学気相成膜装置
  8. 複合化学気相成膜装置
  9. 水素精製装置

付帯設備

メンテナンスルーム、搬入室、事務室、更衣室、倉庫、エアシャワー