誘導電荷による圧電素子の状態認識

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基礎　｜　パラレルメカニズム制御への応用　｜　アザラシ型機構への応用

基礎

  1. Katsushi Furutani, Noriyuki Ohta: Displacement Monitoring of Stacked Piezoelectric Actuator by Observing Induced Charge, International Journal of Automation Technology, 2, 1, pp. 12-17 (2008)
  2. 太田徳幸，古谷克司，三枝嘉孝：誘導電荷による積層型圧電素子の変位測定，日本機械学会・ロボティクス・メカトロニクス講演会'04講演論文集，名古屋市天白区，pp. 2A1-L1-64(1)-2A1-L1-64(4) (2004)
  3. Noriyuki Ohta, Katsushi Furutani, Yoshitaka Mieda: Displacement Monitoring of Stacked Piezoelectric Element by Observing Induced Charge, Proceedings of the 1st International Conference on Positioning Technology, Hamamatsu, Shizuoka, Japan, pp. 361-366 (2004)
  4. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri: Condition Monitoring of Stacked Piezoelectric Actuator Using Induced Charge, Proceedings of 13th Annual Meeting of American Society for Precision Engineering, St. Louis, Missouri, USA, 18, pp. 275-278 (1998)
  5. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷を利用した積層型圧電素子の変位制御, 平成10年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集, 名古屋市千種区, pp. 421-424 (1998)
  6. Katsushi Furutani, Mitsusnori Urushibata, Naotake Mohri: Displacement Control of Piezoelectric Element by Feedback of Induced Charge, Nanotechnology, 9, 2, pp. 93-98 (1998)
  7. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷を利用した積層型圧電アクチュエータの変位・力の推定, 第10回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集, 宮城県遠刈田郡蔵王町, pp. 491-496 (1998)
  8. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri: Improvement of Control Method for Piezoelectric Actuator by Combining Induced Charge Feedback with Inverse Transfer Function Compensation, Proceedins of the 1998 IEEE International Conference on Robotics and Automation, Katholieke Universiteit Leuven, Leuven, Belgium, 2, pp. 1504-1509 (1998)
  9. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷のフィードバックによる圧電素子の変位制御, 精密工学会誌, 64, 4, pp. 562-566 (1998)
  10. 漆畑満則, 古谷克司, 毛利尚武: 誘導電荷検出による圧電素子の状態認識(第3報)−位置決め精度の検討−, 1998年精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 川崎市多摩区, p. 711 (1998)
  11. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 逆伝達関数補償法を用いた誘導電荷フィードバックによる圧電素子の変位制御, 第40回自動制御連合講演会前刷集, 石川県石川郡野々市町, pp. 331-334 (1997)
  12. 漆畑満則, 古谷克司, 毛利尚武: 誘導電荷検出による圧電素子の状態認識(第2報)無負荷時の変位制御, 1997年精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 神戸市灘区, p. 577 (1997)
  13. Katsushi Furutani, Mitsunori Urushibata, Naotake Mohri, Displacement Control of Piezoelectric Element by Feedback of Induced Charge, Proceedings of 5th Biennial Nanotechnology Symposium, Noda, Chiba, Japan, pp. 26-27 (1997)
  14. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷による積層型圧電素子の状態認識, 平成９年電気学会電子・情報・システム部門大会講演論文集, 東京都武蔵野市, pp. 479-482 (1997)
  15. 古谷克司, 漆畑満則, 毛利尚武: 誘導電荷フィードバックによる圧電アクチュエータの変位制御,平成9年度電気学会産業応用部門全国大会講演論文集, 新潟県長岡市, 3, pp, 179-182 (1997)
  16. 朝本耕作, 古谷克司, 毛利尚武: 誘導電荷の検出による圧電素子の状態認識, 1996年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 茨城県水戸市, pp. 737-738 (1996)
  17. 古谷克司, 朝本耕作, 毛利尚武: 誘導電荷を利用した圧電素子の変位・力の測定, 平成8年度電気学会産業応用部門全国大会講演論文集, 宮城県仙台市, 3, pp. 247-248 (1996)

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パラレルメカニズム制御への応用

  1. 古谷克司、山川耕志郎、毛利尚武：原子間力顕微鏡のためのパラレルメカニズム式微動テーブル、第11回電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集、横浜市中区、pp. 424-427 (1999)
  2. 古谷克司、山川耕志郎、毛利尚武：誘導電荷のフィードバックによる圧電素子の変位制御（第2報）−パラレルメカニズム制御への適用−、精密工学会誌、65、10、pp. 1445-1449 (1999)
  3. Koshiro Yamakawa, Katsushi Furutani, Naotake Mohri: XYZ-stage for Scanning Probe Microscope by Using Parallel Mechanism, Proceedings of the 1999 ASME Design Engineering Technical Conferences (DETC99/ MOVIC), Las Vegas, Nevada, USA, pp. 8425/1-6 (1999)
  4. 山川耕志郎, 古谷克司, 毛利尚武: SPM型ナノ加工機の開発(第2報)−誘導電荷フィードバックによるテーブルの制御−, 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, 東京都文京区, p. 94 (1999)
  5. 山川耕志郎, 古谷克司, 毛利尚武: SPM型ナノ加工機の開発（第1報）−パラレルメカニズムを用いた微動機構−, 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, 札幌市北区, p. 621 (1998)

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アザラシ型機構制御への応用

  1. 古谷克司、河越克己：3自由度アザラシ型機構の微動特性、第14回「電磁力関連のダイナミックス」シンポジウム講演論文集、岡山市、pp. 569-572 (2002).
  2. 河越克己、古谷克司、鈴木教夫：摩擦力の差を利用したアザラシ型精密位置決め機構の開発(第4報)微動特性、2002年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集、東京都目黒区、p. 125 (2002).

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by Katsushi Furutani