アザラシ型位置決め機構の移動特性

 圧電素子には電圧振幅100V、立ち上がり時間1sの放物線状波形を印加した。+x方向への移動例を図10に示す。x、y方向の変位は、電磁石CCの変位を用いた。図11に示すように軸間の干渉はほとんど無かった。また、最高速度は並進が0.65mm/s、回転が6.9mrad/sであった。

Fig. 10 Example of displacement driven in x-direction
(a) Displacement driven in x
(b) Rotation driven in q
Fig. 11 Relationship between displacement or rotation and applied voltage

 インチワーム動作をさせるときには、この構造ではxy方向のみに移動可能となる。これらの方向では、アザラシ動作とインチワーム動作は、同様の移動特性が得られることを確認した。


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Last modified on 08/06/2003 at 14:54:47 by Katsushi Furutani