豊田工業大学

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第38回半導体プロセス実習・講習会を開催しました（9/11, 12）

2025.09.17

第38回半導体プロセス実習・講習会を開催いたしました。

毎年恒例となりました、半導体プロセス実習・講習会を開催いたしました。今回の実習・講習会では、少人数制でクリーンルーム内において半導体微細加工や測定・評価の一端を実際にご体験いただきました。また、これに関連して、本学教員による講義として、プロセス技術、半導体デバイス技術、マイクロマシンの基礎と応用について学んでいただきました。ご参加いただいた皆様、誠にありがとうございました。

「プロセス技術」・「半導体デバイス」・「マイクロマシン」の基礎について学ぶ (講義)

〇9/11（木）（1日目）

	プログラム	内容、講師等
13:15～	受付開始
13:30～	オリエンテーション	教授　沼田　敏典
14:00～	講義① 半導体プロセスの基礎	講師　小島　信晃
15:10～	講義② 半導体デバイス技術	教授　沼田　敏典
16:20～	講義③ ホトリソグラフィの微細パターン転写技術とMEMS デバイスでの事例	教授　佐々木　実
17:20～	終了

本学教員による「半導体プロセスの基礎」の講義の様子。受講者からは「初心者にも興味を引く内容で、丁寧で説明もわかりやすい」と好評でした。

クリーンルームで半導体微細加工の一部を体験 (実習)

〇9/12（金）（2日目）

	プログラム	内容、講師等
09:30	集合
09:40～	半導体プロセス実習（クリーンルーム）	薄膜加工実習(ホトリソ工程)、クリーンルーム内の機器等紹介
12:10～	昼休憩
13:10～	半導体プロセス実習（クリーンルーム）	薄膜加工実習(エッチング工程)、クリーンルーム内の機器等紹介
15:05～	半導体プロセス実習（実験室ほか）	膜厚測定実習、MOSキャパシタ特性評価
16:30	終了