対外イベント
第38回 半導体プロセス実習・講習会（9/11～9/12）
2025.06.30
豊田工業大学は、1981年の開学当初よりクリーンルームを設け、半導体微細加工に関わる教育と研究への取り組みを進めております。特に「半導体プロセス実習・講習会」は産業界からの要望に応じて、1986年から実施しており、中部地域をはじめ多くの地域の産学官の半導体分野関係者からご好評を得ております。今年度も少人数制で半導体微細加工や測定評価までの一連の行程から基礎とノウハウの一端をご体験いただけます。あわせて関連する講義として、プロセス技術、半導体デバイス、マイクロマシンの基礎および本学クリーンルームを活用した研究成果や産学官での活用事例※をご紹介いたします。
半導体プロセスを実体験いただけるこの機会に、皆様のご参加をお待ちしております。
※文部科学省「マテリアル先端リサーチインフラ（設備共用）」事業を活用した事例
開催日時
2025年9月11日（木）13:30～17:20（受付開始 13:15）
2025年9月12日（金）09:30～16:30
会場
参加費
40,000円/人（一般）
25,000円/人（大学等）
10,000円/人（学生）
参加費には、消費税、昼食代を含みます。
受講料は、申込期限：8月21日（木）までに銀行振込にてお支払い下さい。
お振込みについては、申し込み完了後、個別にメールにてご案内いたします。
概要
〇9/11（木） （1日目）
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13:15～ |
受付開始 | |
| 13:30～ |
オリエンテーション |
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14:00～ |
講義① |
半導体プロセスの基礎 |
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15:10～ |
講義② |
半導体デバイス技術 |
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16:20～ |
講義③ |
ホトリソグラフィの微細パターン転写技術とMEMSデバイスでの事例 |
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17:20 |
終了 |
〇9/12（金） （2日目）
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09:30～ |
集合 | |
| 09:40～ |
実習（クリーンルーム 午前の部） |
半導体プロセス実習 |
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12:10～ |
昼休憩 |
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13:10～ |
実習（クリーンルーム 午後の部） |
半導体プロセス実習 |
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15:20～ |
実習（実験室） |
半導体プロセス実習 |
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16:30 |
終了 |
- 概要詳細は、こちらからご確認ください。
定員
12名
参加申し込み
Googleフォームよりお申込みください。
なお、メールでのお申し込みも受け付けております。
申込締切
8月21日（木）
定員になり次第、締め切らせていただきます。
Googleフォームにてお申し込み後、期限までにお振込みください。お振込みの確認をもって、申し込み完了となります。
お問い合わせ
研究支援部 河合
TEL: (052)809-1723
E-MAIL: sympo(at)toyota-ti.ac.jp