| 課題番号 | 支援機能名 | 業務形態名 | 実施課題名 | 成果報告 |
|---|---|---|---|---|
| 07-03 | 超微細加工 | 送致利用 | ナノ結晶制御型高品質結晶化Si形成 | 詳細 |
| 07-04 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
プラズマCVDによる薄膜成膜 | 詳細 |
| 07-05 | 超微細加工 | 装置利用 | 側面へのパターニング技術 | 詳細 |
| 07-06 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
微小面積薄膜のレーザー加熱による変形 | 詳細 |
| 07-07 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
超微細加工技術を用いたマイクロ流路チップの開発 | 詳細 |
| 07-10 | 超微細加工 | 協力研究 | 高分解プローブ顕微鏡による薄膜表面の構造評価 | 詳細 |
| 07-11 | 超微細加工 | 技術相談 | 立体サンプルのフォトリソグラフィ技術に関する相談 | - |
| 07-12 | 超微細加工 | 装置利用 | 鉄系シリサイド形成に関する研究 | 詳細 |
| 07-14 | 超微細加工 | 技術相談 | カーボンナノチューブ深針作製に関する相談 | - |
| 07-16 | 超微細加工 | 装置利用 | 多結晶シリコンデバイスのための酸化メカニズムに関する研究 | 詳細 |
| 課題番号 | 支援機能名 | 業務形態名 | 実施課題名 | 成果報告 |
|---|---|---|---|---|
| 08-01 | 超微細加工 | 協力研究 | 多結晶シリコン基板へのpnダイオード作製 | 詳細 |
| 08-02 | 超微細加工 | 協力研究 | 可視光用超高速空間光変調器の研究開発 | 詳細 |
| 08-03 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
結晶シリコン太陽電池用受光面銀ペーストの焼成挙動について | 詳細 |
| 08-04 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
ナノレベルで膜厚を制御した透明導電膜の光学的特性評価 | 詳細 |
| 08-05 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
プラズマCVD法による薄膜作成と構造評価 | 詳細 |
| 08-06 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
（公開猶予） | - |
| 08-07 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
電子線ビーム露光技術と組み合わせたナノ粒子パターン配置技術の開発 | 詳細 |
| 08-08 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
超微細加工技術を用いたマイクロ流路チップの開発 | 詳細 |
| 08-09 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
（公開猶予） | - |
| 08-10 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-11 | 超微細加工 | 技術代行 | （公開猶予） | - |
| 08-12 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-13 | 超微細加工 | 協力研究 | 垂直壁側面へのパターニング技術 | 詳細 |
| 08-14 | 超微細加工 | 技術相談 | （公開猶予） | - |
| 08-15 | 超微細加工 | 協力研究 | プローブ顕微鏡を用いた物性測定 | 詳細 |
| 08-16 | 超微細加工 | 装置利用 | 磁気記録用パターン媒体の研究 | 詳細 |
| 08-17 | 超微細加工 | 装置利用 | 鉄・コバルト系シリサイド形成に関する研究 | 詳細 |
| 08-18 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-19 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-20 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
ナノ構造半導体薄膜の作製 | 詳細 |
| 08-21 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-22 | 超微細加工 | 協力研究 | InAs量子ドットを電極としたナノショットキーダイオードの理想係数 | 詳細 |
| 08-23 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-24 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
（公開猶予） | - |
| 08-25 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
（公開猶予） | - |
| 08-26 | 超微細加工 | 技術代行 | FETデバイス基板の試作 | 詳細 |
| 08-27 | 超微細加工 | 装置利用 | 触媒ナノ粒子を用いたCVD膜中残留応力制御 | 詳細 |
| 08-28 | 超微細加工 | 協力研究 | a-SiNx:H/Si界面特性の面方位依存性 | 詳細 |
| 08-29 | 超微細加工 | 技術代行 装置利用 |
太陽電池特性評価技術の習得 | 詳細 |
| 08-30 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-31 | 超微細加工 | 装置利用 | （公開猶予） | - |
| 08-32 | 超微細加工 | 技術代行 | レジストマスクによるリン、砒素のイオン注入 | 詳細 |
| 08-33 | 超微細加工 | 技術相談 装置利用 |
新規プローブの開発 | 詳細 |
| 08-34 | 超微細加工 | 協力研究 | ポテンシャルマッピング用量子構造試料作製 | 詳細 |
| 08-35 | 超微細加工 | 装置利用 協力研究 |
次世代メモリ用材料GeSbTe薄膜のCVD成膜 | 詳細 |
| 08-36 | 超微細加工 | 技術代行 | （公開猶予） | - |
| 08-37 | 超微細加工 | 協力研究 | 分光機能を持つMEMS赤外線センサ | 詳細 |
| 08-38 | 超微細加工 | 技術相談 | （公開猶予） | - |
| 08-39 | 超微細加工 | 協力研究 | エンジニアリングプラスチックスの成形加工物の残留歪解析 | 詳細 |
| 08-40 | 超微細加工 | 装置利用 | 光ファイバー材料の吸発光特性 | 詳細 |
