成果報告【準備中】

文部科学省 「マテリアル先端リサーチインフラ」事業
高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル領域

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【参考】文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム事業　微細加工プラットフォーム」は、2022年（令和4年）3月末で10年の事業期間を満了し、終了いたしました。多くの皆様ご利用を頂きありがとうございました。

●ナノプラットフォーム10年の歩み>>>

●微細加工ナノプラットフォームコンソーシアム（資料・動画）>>>